二手 PLASMATHERM 790 #293775968 待售

PLASMATHERM 790是为先进的半导体和微电子器件制造工艺而设计的尖端等离子体蚀刻器/asher设备。这种高度通用的系统由全球半导体行业等离子加工设备的领先供应商Plasma-Therm制造。790采用了创新的等离子体蚀刻和灰化技术，以高精度和高效率的方式精确设计和清洁半导体材料。凭借其坚固的设计和最先进的特点，该单元非常适合广泛的应用，包括光刻去除、介电蚀刻、金属蚀刻等等。PLASMATHERM 790的关键亮点之一是其先进的真空室设计，为等离子体处理提供了受控环境。该机具有高品质的不锈钢腔室，具有出色的真空密封能力，以维持所需的工艺条件，并增强整个基板表面的均匀性。790包含多个气体进气口,可精确控制加工气体和流速。这使用户能够根据自己的具体要求量身定制等离子体化学，促进针对不同材料和设备结构的优化蚀刻和灰化过程。此外，该工具还配备了先进的射频电源和阻抗匹配网络，可精确控制等离子体的产生和分配。这确保了过程气体的有效电离和等离子体在基板上的均匀分布，从而产生一致和可重复的过程结果。PLASMATHERM 790具有支持单频和双频等离子体生成的多功能电极配置。这种灵活性允许用户根据自己的工艺要求选择合适的等离子体源配置，无论是高密度的等离子体蚀刻还是低损伤的灰化。此外，该资产还配备了先进的等离子体源设计，确保在整个蚀刻或灰化过程中等离子体运行稳定且连续。这一特性对于实现半导体制造的高工艺重复性和产量至关重要。790还配备了前沿工艺监控能力，实现了工艺实时优化。该模型包括先进的端点检测技术，可准确确定工艺完成情况，确保精确去除光刻胶或其他材料，同时避免过度蚀刻。此外,PLASMATHERM 790还提供了用户友好的界面和直观的软件控制,使操作员能够轻松设置流程并监控设备性能。该系统还支持远程监控和诊断,从而实现了高效的维护和故障排除,从而最大限度地减少了停机时间并最大限度地提高了工作效率。总体而言,790是一个高度先进的等离子体蚀刻器/asher单元,它为半导体和微电子制造过程提供卓越的性能、多功能性和可靠性。凭借其最先进的特性和能力，这台机器是半导体行业领先的研究和生产设施的宝贵工具。