二手 PLASMATHERM 790 #293800249 待售

PLASMATHERM 790系列是一种先进的蚀刻器，用于各种材料的半导体制造应用。它是一种多室蚀刻设备，可以处理五个晶片，直径可达8英寸/200毫米。它有三个腔室，提供了包括低温蚀刻、高温蚀刻和灰化在内的高水平的工艺灵活性。系统的加工能力包括最高20 μ m/小时的蚀刻速率和最高18 μ m的蚀刻深度。790系列配备了先进的等离子体源，以确保所有蚀刻和灰化过程的最大均匀性和可重复性。支持先进等离子体控制的高频电源允许用户精确控制蚀刻室内的等离子体参数。此外，该单元还配备了先进的监控功能，如等离子体参数闭环反馈、端点检测、自动晶圆对准等。该机器的设计符合半导体制造设施的严格环境和安全要求。可在一级清洁环境下运行，清洁干气流量可调，正压隔离，气体交换快捷。该工具还配备了气体过滤设备，以确保防止过程污染的最佳保护。该模型与一系列化学物质相容，其中包括的有氙气、氦气、氮气和氧气，以及一系列蚀刻和灰化材料，如Si、GaAs、聚酰亚胺、金属和光致抗蚀剂。这使用户能够在最短的设置时间内快速切换不同的蚀刻工艺和材料。PLASMATHERM 790系列为半导体制造应用提供了通用、高效、可靠的蚀刻设备。其广泛的化学和蚀刻材料结合其先进的等离子体源和灵活、高性能的特点，使其成为要求苛刻的半导体环境的绝佳选择。