二手 PLASMATHERM 790 #293811831 待售

ID: 293811831
晶圆大小: 8"
PECVD system, 8".
PLASMATHERM 790是一款由PLASMATHERM製造的精密蚀刻器/asher。它是从故障分析到MEMS/晶圆处理等多种多功能蚀刻/灰化应用的理想选择。精密的蚀刻和灰度特性使其成为精密高密度、大容量蚀刻的有力工具。790装有8英寸等离子体腔。腔室内部是基板支架,能够容纳多达十二英寸的基板。PLASMATHERM 790提供了广泛的可自定义处理参数,如射频和直流功率、温度、压力、通量、等离子体速率和气体流量。为确保处理的一致性和准确性,它还配备了实时等离子传感器。这一先进的功能使机器能够持续监控蚀刻室内的等离子体,并在必要时停止蚀刻过程。790可以手动操作,也可以通过自动化和软件操作系统操作。它还允许远程访问和监视进程。这允许用户在蚀刻过程中启动、停止甚至更改处理参数。PLASMATHERM 790旨在满足当今半导体制造工艺的要求。790还具备高科技安全功能。它直观、易于使用的界面允许用户从易于读取的显示器查看和控制操作状态。安全功能还可确保如果蚀刻室密封不当,机器无法运行。总体而言,PLASMATHERM 790是现有的最先进的蚀刻器/分类器之一,提供强大而精确的蚀刻功能。它可靠、坚固耐用,并具有易于操作的直观用户界面。广泛的可自定义处理参数使其成为一系列蚀刻/灰化应用程序的理想工具。总之,790是一款功能强大、经济高效且精确的蚀刻器/蚀刻器,可提供最高质量的蚀刻结果。
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