二手 PLASMATHERM 790 #293823821 待售

PLASMATHERM 790是一种蚀刻室，旨在提供与超高蚀刻速率工艺相结合的精确热控制。它是一个完整的蚀刻设备，能够在高蚀刻速率下执行等离子体蚀刻和灰化过程，并提供精确的热控制。790的核心元件是一个最先进的工艺室，结构坚固，高度可靠，需要最少的维护。该腔室设计为安全地包含蚀刻和灰化工艺，并为这些工艺提供最佳的工艺环境。该室的最先进的设计确保了可重复的工艺性能，实现了卓越的蚀刻速率性能和均匀性。PLASMATHERM 790通过使用集成的射频发生器和隔离器运行。这使得系统可以在高达1.2千瓦的功率水平上运行，最大频率为13.56 MHz。这些功耗级别为高级蚀刻和灰化过程提供了足够的功耗和性能。此外，该机组还具有通过集成气体控制控制工艺气体流量和压力速率的能力。这允许精确控制蚀刻和灰化工艺参数，并提供更大的工艺重复性和控制性。790采用优质材料和硬件,最大程度地提高可靠性和产品质量。这样可以确保机器符合严格的标准并提供卓越的性能。此外,该工具还包括集成的冷却冷却设备,可确保所有组件在整个过程中保持冷却状态。PLASMATHERM 790是高性能蚀刻和灰化工艺的理想选择。它专为需要卓越的热控制和超高蚀刻速率的工艺而设计,可提供精确的控制和可靠的结果。此外，它具有很高的可靠性，减少了设备维护的需要，使其成为具有成本效益的选择。