二手 PLASMATHERM 790 #9113757 待售

PLASMATHERM 790 蚀刻器/asher是一种用于在晶圆上制造微电子元件的双自动等离子体蚀刻和灰化工艺。它提供了执行蚀刻回应用程序和灰度应用程序的灵活性和可靠性。先进的蚀刻回技术利用高压等离子体源，通过在整个晶片表面上提供均匀的等离子体体积，在晶片上提供高工程均匀性。该机还提供了一个全面的蚀刻参数范围，具有广泛的不同气体组合和压力状态的最佳蚀刻结果。背面蚀刻工艺是为RIE等应用量身定制的，其中不同材料之间的选择性很重要。自动源控制进一步确保了良好的均匀性。同时还提供了与背面蚀刻工艺相同的高效率和均匀性。专有的等离子体灰化（PA），利用现代低压等离子体技术，提供侵略性有机和无机材料的异质热等离子体汽化。热等离子体灰化工艺提供了从厚电介质到贵金属等多种材料的清洁蚀刻。该系统配备了多气体流量控制器，提供了方便使用反应性气体溷合物的机会。与负载锁室、机器人和基板的全面联锁，确保操作安全，过程控制软件直观易用，可用于初始化和过程开发。一个先进的端点检测系统被纳入过程中，它测量特定的样品反射和/或基板电压。这些光学参数使整个过程中的完整过程监控成为可能。该系统提供多种配置,所有配置均与正面/背面晶圆处理机器人兼容。综上所述,790 蚀刻器/asher提供了出色的均匀性、过程灵活性和可重复性,以及自动端点识别,从而提高了微电子元件制造的成本效率。