二手 PLASMATHERM 790 #9156748 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9156748
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 8"
Windows: PC Controlled with flat panel display
Lower electrode, 11"
MKS 919 Ion gauge controller
ADVANCED ENERGY RFPP RF10S Power supply, 1000 W
LEYBOLD 361C Turbo 208 V
Gas panels:
5 MFCs
O2-50 sccm
Cl2-100 sccm
Ar-200 sccm
CF4-200 sccm
CHF3-200 sccm
No pumps / Chillers
1996 vintage.
PLASMATHERM 790是由LPKF製造的蚀刻器/asher。790采用射频发生器,能够在无划痕表面的情况下,将单层或多层多氯联苯各向异性蚀刻到20 µm的最小宽度。本公司先进的工艺控制算法满足行业领先的吞吐量和质量要求,要求苛刻,可重复。PLASMATHERM 790是一款高端精密蚀刻机。它采用自动化过程控制算法和先进的工作流功能进行设计,优化了蚀刻周期时间,从而获得了高吞吐量和高质量的结果。790用途广泛,因为它可以处理最小线宽为20 µm的单层和多层多氯联苯。它还通过创新的蚀刻工艺提供了出色的非刮擦表面。PLASMATHERM 790易于使用和维护。它有一个直观的用户界面,使操作员能够快速从机器中获得最大的收益,而不必经过漫长的学习曲线。也很容易自订其设定,以符合每份工作的个别要求。为790供电,它使用20 kHz射频发电机,能够在低电压下产生非常高的电流。该设备可以配置为负离子或正离子,使其适合各种蚀刻工艺。PLASMATHERM 790还可以与可选的UV闪光灯曝光系统相结合,提供改进的效果。微波发生器的高电流也保证了在非常高的速度下发生蚀刻。790是出于安全考虑而设计的。该部门遵守EMC指令,并获得CE和CA认证。它还有一个先进的过滤机器,不仅过滤出灰尘颗粒,还能防止蚀刻板受到污染。总体而言,PLASMATHERM 790是蚀刻单层和多层多氯联苯的绝佳选择,因为它能够产生最小线宽为20 µm的高质量结果。其先进的过程控制算法也使其易于使用和维护,其射频发生器保证了高速蚀刻。其安全措施使其成为可靠和安全的蚀刻工具,其可选的紫外线暴露资产使其成为多氯联苯蚀刻工艺的通用和有价值的工具。
还没有评论