二手 PLASMATHERM 790 #9156794 待售

PLASMATHERM 790是一款等离子体蚀刻器/asher，为广泛的应用提供出色的蚀刻和灰化性能。790具有多气体阵列设计和等离子体负载锁定，使其成为蚀刻和灰化的理想平台。PLASMATHERM 790的多气体阵列设计允许用户配置多个气体流入蚀刻室。等离子体负载锁还允许将各种气体引入蚀刻室，而无需卸载和重新装载基板。790附有精密蚀刻的自动化控制设备。红外温度控制系统有助于在整个蚀刻过程中保持温度稳定，而精密的低VOC气体输送和集成的等离子体控制单元则允许像偏置电压、射频（RF）功率、腔室压力等蚀刻参数的精确控制。自动控制机有助于最小化蚀刻均匀性，提高蚀刻深度均匀性。PLASMATHERM 790设计可容纳小型和大型基板,并具有高速蚀刻/灰化吞吐量。较大的腔室尺寸和强大的射频发生器允许对较厚的晶片或基板进行有效的蚀刻/灰化，使得这种蚀刻器/灰化器非常适合用于生产或研究目的。790与一系列前体材料兼容，如氧气、氙气、氦气和氢气，为用户提供了对蚀刻过程的灵活性和控制力。PLASMATHERM 790具有绝缘良好的腔室结构，内部是石英等离子体区域，提供了极好的均匀性和可重复性。等离子体室的封闭式、气密式设计允许最小的粒子、热量和噪声产生，使得这种蚀刻器/asher非常适合在洁净室环境中使用。790的高稳定性也使其与high-N2蚀刻工艺高度兼容。总体而言,PLASMATHERM 790是一款非常适合各种蚀刻和灰化需求的蚀刻器/灰化器。790的智能设计和自动化控制工具有助于简化蚀刻/灰化过程,为用户提供更高的准确性和改进的过程一致性。此外,封闭式腔室和绝缘设计有助于减少热量、振动和噪音,同时提供卓越的温度稳定性,从而获得更好的蚀刻/灰化效果。