二手 PLASMATHERM 790 #9156796 待售

PLASMATHERM 790是一款用途广泛的蚀刻器/asher,专为各种精密蚀刻和灰化应用而设计。790配备了24英寸长的工业级石英腔室,可提供可靠的主动布线和高达400瓦的功率,以实现快速蚀刻/灰化和高质量的效果。除了高度先进的控制系统和先进的诊断之外，PLASMATHERM 790还配备了多项安全功能，包括可调节的气压设置、动态温度传感器以及主动热稳定性监控。790配备了内置的等离子体发生器，以实现高速蚀刻/ashing。此外，PLASMATHERM 790配备了氮气净化设备，以确保在蚀刻/灰化过程中存在均匀数量的氧气、氮气和其他气体。该系统具有气体平衡和过渡模式，以确保整个过程中均匀的压力，以及步骤之间的快速晶圆洗牌。790还具有先进的温度控制技术,包括内置主动保护单元（APS）,以确保蚀刻/灰化过程中的最佳温度条件。APS自动调整腔室温度，并相应调整功率水平，在整个过程中保持精确的温度条件。PLASMATHERM 790的蚀刻速率精确一致，非常适合需要精确结果的广泛应用。它提供了从几微米到几百微米每分钟的一系列蚀刻深度。此外,790的高级诊断机器允许用户快速识别蚀刻/灰化过程中的任何问题并进行故障排除。总而言之,PLASMATHERM 790是一款可靠、高性能的蚀刻器/灰化器,旨在实现各种材料的精确、可重复的蚀刻/灰化。它提供高达400瓦的功率,并配备了先进的控制技术和实时诊断,以确保准确的结果。790还具有可调节的气体压力设置和温度传感器,以及主动保护系统,以确保腔室中可靠且均匀的气流。