二手 PLASMATHERM 790 #9296260 待售

PLASMATHERM 790
ID: 9296260
优质的: 2001
PECVD System 2001 vintage.
PLASMATHERM 790是一款先进的蚀刻器/asher设备,设计用于对包括硅、金属、聚合物和石英在内的一系列电子材料进行高速、可靠和可重复的处理。它提供高度均匀的半导体晶片等离子体蚀刻和灰化,也可用于从晶片中去除有机材料。790的工作原理是使用感应耦合双频射频电源在其处理室内产生高度均匀和稳定的等离子体。此过程允许创建狭窄的进程窗口,并允许精确控制蚀刻参数。腔室用石英检修口密封,系统能够处理各种晶圆设计,包括标准尺寸和定制尺寸晶圆。PLASMATHERM 790包含许多高级功能,以确保获得最高质量的结果。其中包括可编程的过程控制,以确保一致的蚀刻和灰度时间和温度,实时显示过程参数,以及在过程开发过程中实现可重复性和可追踪性的数据记录功能。该单元还可以与主机计算机集成,用于远程监控。该机器能够在各种材料和厚度上产生可复制、均匀的蚀刻轮廓,蚀刻速度变化最小。它非常可靠,与传统蚀刻系统相比,电流消耗水平低,功耗降低。总体而言,790是一种先进且用途广泛的蚀刻器/asher工具,非常适合寻求可靠、高效且经济高效的工艺控制的公司,用于其蚀刻和灰化应用程序。
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