二手 PLASMATHERM 790 #9296262 待售

ID: 9296262
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
PECVD System, 8" RIE Dual chamber Manual load Non-load lock RFPP RF5S RF Power supply with matching network RF 350W Power supply LEYBOLD Turbo pump Gas distribution panel: (4) MFCs Operating system: Windows 1998 vintage.
PLASMATHERM 790是一种先进的、高度精确的蚀刻和灰化设备。它是PLASMATHERM创建的最新型号,PLASMATHERM是蚀刻和灰化系统生产的领导者。790是为各种应用而设计的系统,包括蚀刻、灰化和深反应性离子蚀刻(DRIE)。该装置能够蚀刻具有高工艺重复性的大面积基板(最高433 x 390mm)。PLASMATHERM 790配备了最小化气体消耗、优化机器性能的创新配置。它具有高容量真空系统的低矮涡轮泵和易于维护的宽腔室设计。额定产生超过200毫巴真空压力,温度范围高达300 °C。790有一个集成的控制单元和安全工具,允许用户编程和监控蚀刻过程。它配备了清洁就地技术和灵活的安全协议,使其能够监控和防止资产超载。PLASMATHERM 790是一款用途广泛的蚀刻器和asher,可容纳各种底物,从金属和玻璃到塑料和聚合物。它设计用于处理多种敏感材料,包括薄膜、透明材料和小型化设备。此外,790还提供各种硬件和软件升级,如运行精确电化学和工艺步骤的能力。它提供精密的蚀刻配方,以实现具有大批量处理功能的高精度蚀刻。PLASMATHERM 790是一款功能强大且可靠的蚀刻器和asher,能够生产高质量的蚀刻零件。它具有很高的工艺重复性,具有很好的蚀刻效果,并具有最佳的工艺控制和灵活性。它是应用的完美模型,需要高精度的蚀刻和灰分处理。
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