二手 PLASMATHERM Versaline #293592006 待售

PLASMATHERM Versaline 蚀刻器/asher是一种最先进的蚀刻和灰化设备,设计用于半导体制造应用中的卓越性能。该系统具有广泛的针对各种基材和工艺的蚀刻和灰化解决方桉。Versaline具有高度灵活的工艺室和广泛的配置。该腔室具有独立的气体进气和排气，以提供对工艺环境的精确控制。腔室的布局具有两区可用性，各向同性ashing区和定向蚀刻区。这允许对设备进行缩放,以适应不同的工艺要求。PLASMATHERM Versaline利用先进的磁控管溅射源，提供精确的通量控制和高均匀性。它还有一个高效的真空环境，有一个脉冲机，以保持清洁条件和减少可能影响过程的污染量。室内的惰性气氛保证了最高质量的结果。此外，Versaline有内置的锁载工具，允许用户精确控制蚀刻气氛。该资产还具有计算机控制的气体净化模块，允许精确的气体控制。PLASMATHERM Versaline还具有精确的温度控制功能，允许用户为自己的特定基材和工艺选择最佳工艺温度。Versaline专为精确可靠的操作而设计，维护要求低，性能优异。此外,该模型还具有高级监控和诊断功能,为用户提供有效优化流程所需的信息。总体而言,PLASMATHERM Versaline 蚀刻器/asher是一款先进、高效且易于使用的设备,可提供精确的蚀刻和灰化解决方桉。它是任何半导体制造应用的理想系统，允许用户达到最高质量的结果。它是为可靠性和性能而设计的，维护要求低，工艺效果好。