二手 PLASMATHERM Versaline #293621803 待售
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ID: 293621803
优质的: 2014
ICP-RIE System
Missing parts:
Valves
Elevators
Power supplies
Generators
Pumps
2014 vintage.
PLASMATHERM Versaline 蚀刻器/asher是一种先进的等离子体蚀刻和灰烬设备,设计用于提供卓越的零件蚀刻、晶圆清洁和表面处理能力。该系统由模块化组件组成,可定制这些组件以满足蚀刻/灰分解决方桉行业的特定需求和趋势。Versaline的加工室由304个不锈钢和一个PFA衬里组成。这种蚀刻器/灰化器是真空密封的，气密和耐酸的，以确保可靠和安全的操作。一个强大的电场发生器在工作温度和压力水平变化的氧气或氮气气氛中的过程室中产生等离子体。这种等离子体使PLASMATHERM Versaline能够以高精度和重复性在金属、合金、陶瓷和半导体上蚀刻复杂的形状、凹槽和图桉。蚀刻过程通常通过有机溶剂蚀刻、湿氧化、反应性离子蚀刻（RIE）等一系列化学过程进行。该单元提供两种截然不同的蚀刻技术，即"湿化学蚀刻"和"反应性离子蚀刻"。此外，Versaline还采用湿法和干法相结合的蚀刻工艺，有利于工业部件的制备。这种蚀刻器/灰化器对化学和机械污染物都具有抵抗力，可用于多种应用，包括化学机械抛光（CMP）和等离子体加工。PLASMATHERM Versaline还提供出色的表面制备性能，这是因为它具有高灵敏度、高精度以及能够精确、重复地控制蚀刻速度和深度等多种因素。总体而言,Versaline 蚀刻器/Asher是一台高级且可靠的机器,旨在满足高级蚀刻/灰分解决方桉的需求。除了化学机械抛光和等离子体处理功能外,它还提供多功能的蚀刻和灰烬功能,具有卓越的精度和可重复性。
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