二手 PLASMATHERM Versaline #293623685 待售

PLASMATHERM Versaline是一款用途广泛的蚀刻和灰化蚀刻设备,旨在满足实验室和行业专业人员的需求。Versaline将质量蚀刻所需的可靠、可重复、高精度的蚀刻和灰化工艺与商业生产所需的创新设计和闭环工艺控制功能结合在一起。PLASMATHERM Versaline采用13英寸高对比度液晶触摸屏显示屏,易于操作,并采用模块化设计,支持多达8个工作站,以最大限度地提高生产吞吐量。多气体控制（MGC）系统为用户提供了在惰性气体和反应性气体之间进行选择的灵活性，以满足特定的工艺要求。凭借Versaline全面的生产监控跟踪单元，用户可以从头到尾准确监控蚀刻和灰化过程的方方面面。PLASMATHERM Versaline由两级电感耦合等离子体（ICP）源供电，以获得最佳的蚀刻和灰化性能。Versaline利用最先进的数字电源来提供高达3,000瓦的功率,以便对蚀刻和灰化过程进行更好的控制。PLASMATHERM Versaline精细可调的机电运动机确保晶圆的精确定位。Versaline提供了多种等离子体密度均匀的工作室几何形状,用于高通量生产和均匀蚀刻/灰化结果。PLASMATHERM Versaline设计了一个不锈钢腔室，以确保质量蚀刻和灰化结果。Versaline能够处理的工艺包括但不限于稀有气体、卤化物和稀土化合物。腔室盖设计为含有蚀刻烟雾和颗粒物，最大限度地减少先前蚀刻过的晶片的污染。PLASMATHERM Versaline还提供多功能和高性能选项。Versaline的集成控制工具允许用户自定义流程配方并将其召回以备将来运行。板载分析仪可以在蚀刻和灰化过程中监测腔室的气体成分，以实现最佳的工艺控制。PLASMATHERM Versaline还具有一个具有内置诊断和分析功能的流程监控模块,以确保质量结果和最大限度地提高流程一致性。Versaline是一种创新的蚀刻和灰化蚀刻资产，旨在满足任何实验室或工业生产环境的要求。PLASMATHERM Versaline先进的操作模式、精密的过程控制和模块化设计使其成为可靠、可重复、精确的蚀刻和灰化结果的理想选择。