二手 PLASMATHERM Versaline #9254663 待售
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ID: 9254663
晶圆大小: 3"-8"
优质的: 2011
ICP Etcher, 3"-8"
(4) Chambers
(4) PM Modules
Cassette to cassette
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline是一种经济实惠的蚀刻和灰化设备，用于高分子和玻璃基板的精密介电蚀刻和快速灰化。Versaline是为精确控制蚀刻工艺参数而设计的，它提供了均匀且可重复的蚀刻轮廓，且蚀刻超调最小。利用射频功率和多种等离子体气体，可以实现增强蚀刻均匀性、选择性和轮廓控制。PLASMATHERM Versaline系统由单个圆形卡盘和两级真空室组成。卡盘有一个中心电极，用于等离子体产生的化学蚀刻过程。四条气体管线将加工气体送入腔室，腔室被一个预冷墙和一个石英视口封闭，用于过程监测。可移动的垂直射频线圈允许精确调整等离子蚀刻轮廓。该机组在50 mTorr至760 Torr的压力范围内运行，并有一个用于排气和装载的气锁室。Versaline蚀刻器专为流程执行而设计，并配有全面的用户界面和流程配方编辑器。通过使用Lambda软件的PLASMATHERM Versaline控制器提供与腔室的接口。Lambda软件包括一台先进的底物温度、压力、射频功率和等离子体密度监测机器。可以实时更改和微调工艺参数。此外，Versaline工具还提供了一系列复杂的选项，包括用于温度控制的静电卡盘、基板旋转，以及与广泛的其他基板集成的能力，例如薄膜沉积系统。PLASMATHERM Versaline能够对分子纳米复合材料、聚合物和玻璃等多种样品材料进行快速热处理，并提供出色的均匀性和蚀刻轮廓控制。精密控制蚀刻轮廓的能力使得Versaline非常适合高精度蚀刻、灰化和退火过程。它也是实现纳米级光刻和蚀刻应用的控制深度和轮廓的理想工具。PLASMATHERM Versaline是纳米级器件的一项具有成本效益的蚀刻和灰化资产，理想地适合需要微调蚀刻和灰化系统的广泛实验室。Versaline在纳米级蚀刻基板方面提供卓越的性能、准确性和可靠性。
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