二手 PLASMATHERM Versaline #9254667 待售
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ID: 9254667
晶圆大小: 3"-8"
优质的: 2011
CVD System, 3"-8"
(3) Chambers
(2) PECVD Chambers
HDP-CVD Chamber
(3) Power modules
BROOKS AUTOMATION MX 600 Handler station
2011 vintage.
PLASMATHERM Versaline是一款先进的蚀刻/asher机器，设计用于半导体生产和研究行业的各种应用。它既适用于批量应用，也适用于单片应用，其紧凑的尺寸使得它成为空间有限的实验室的绝佳选择。Versaline提供卓越的精确度和灵活性,使用户可以使用多种不同的蚀刻和灰化技术。它包括一系列专门的功能，如多阶段蚀刻工艺、超压保护、均匀性控制和自动清洗模式。该机还设有支持多个软件包的现代化控制设备，允许在多种设置中使用。与大多数的灰化系统不同，PLASMATHERM Versaline被设计成在完全密封的腔室中运作。这种创新的真空密封技术有助于消除可能污染容器的颗粒和气体，提高输出质量。该系统有一个功能强大的流程部分,可为用户提供多种选择,帮助他们实现所需的结果。它配备了供气和排气单元，以及多种加热能力。这使用户能够以令人难以置信的精确度控制多个参数，包括压力、流量和温度。当结合其旋转阶段，这使得它非常适合蚀刻和灰化与一系列的基材。凭借其先进的软件套件，Versaline可以轻松与其他系统集成，形成无缝生产线。此外，利用其明确的维护模式，可以方便地从控制机内进行监控和维护程序。这可以帮助用户快速识别异常,并在工具或基板受到任何损坏之前纠正异常。考虑到所有这些因素，PLASMATHERM Versaline对于那些寻找高度可靠和精确的蚀刻和灰化机的人来说是一个理想的选择。其独特的特点和直截了当的操作使其在大多数竞争对手中占有优势，因此非常值得任何实验室考虑。
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