二手 PLASMATHERM Versaline #9402602 待售
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PLASMATHERM Versaline是一种适合于半导体及相关行业中的光刻工艺的蚀刻器和asher设备。Versaline设计用于在各种集成电路蚀刻和烧蚀过程中提供清洁、精确、可重复、高性能的结果。该系统利用革命性的高密度等离子体和电光激光器技术，以低至几毫秒的速度提供了强大的效果。PLASMATHERM Versaline单元的集成功率能够精确控制所有关键蚀刻参数，如蚀刻时间、电流、电压和温度，以达到预期的效果。此外,Versaline机器还提供了无与伦比的能力来蚀刻各种元素和复合材料,使其适合各种集成电路技术,包括但不限于SOI、PDSOI、DRAM和闪存设备。除了强大的性能外,PLASMATHERM Versaline工具还提供高级功能,如集成的OPC和光刻、高级产品控制、现场监控,以及提高工艺效率和提高产品质量的清洁度保证。该资产还采用了数字管理模式，使用户能够方便地实时监测、分析和报告关键流程数据。该特性支持对特定蚀刻和烧蚀操作进行快速、准确的表征,并实现了快速的工艺优化,从而提高了设备制造的速度和精度。总之，Versaline设备由于能够快速高效地提供清洁、精确、可重复和高性能的结果，是半导体及相关行业的理想选择。PLASMATHERM Versaline具有先进的特性、卓越的性能和快速的工艺优化能力,是蚀刻集成电路设计的理想选择。
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