二手 PLASMATHERM VLR #9139623 待售

PLASMATHERM VLR
ID: 9139623
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
RIE LM/TM systems, 6" 1996 vintage.
PLASMATHERM VLR是一种蚀刻器/asher,具有一系列出色的功能,使高精度制造成为可能。这一设备由顶级材料制成,包括304个不锈钢、铝、陶瓷部件。它可以在多种基板上实现高达75 nm的蚀刻深度,包括金属、聚合物和电介质。该系统具有高效的单流设计,这意味着它能够以多流系统成本的一小部分实现最大精度。单流设计还降低了交叉污染的风险,使敏感产品更加安全。其直观的触摸屏界面使其易于使用。它具有广泛的控制过程的特点,包括可选的等离子体气体、3级蚀刻、可调停留时间和可编程功率输出。该单元还包括安全功能,如紧急关闭开关和可调节的安全防护。此外,它还提供内置的等离子体诊断程序,以监控过程并提供有关蚀刻过程状态的反馈。VLR提供一致、准确的蚀刻。它具有提高蚀刻质量的高速换挡运动。可调深度允许精确控制蚀刻,从而使用户能够创建完美的精加工。它还具有独特的双手控制机器,使操作方便舒适使用。该工具是环保的,比其他系统使用的能源少70%,废物产量少97%。此外,资产只需要一个等离子体腔室即可操作,便于维护。这有助于节省维修和更换部件的成本,并确保减少停机时间。总体而言,PLASMATHERM VLR是一款先进的高科技蚀刻器/asher,专为实现最高的精度和效率而设计。它具有良好的易用性、安全性和效率。它节省了成本、高精度和高端性能,使其成为任何制造过程的绝佳选择。
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