二手 PLASMATHERM VLR #9139644 待售

PLASMATHERM VLR
ID: 9139644
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
ICP Bosch system, 6" 1998 vintage.
PLASMATHERM VLR是一种能够满足现代工业工艺苛刻需求的最先进的蚀刻机/asher机。VLR旨在提供精确且可重复的过程结果,同时将成本和时间因素降至最低。PLASMATHERM VLR的大型工作室长约63立方英尺,加压至高达13.3 psig。这允许了广泛的过程,包括高温/压力等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻(RIE)和灰化。该机采用两级高压直流电源,允许脉冲直流和脉冲等离子体蚀刻序列。它还具有进行交替极性蚀刻的能力,使其对某些材料的蚀刻效率更高。VLR的设计使得对任何材料进行严格的蚀刻和灰化成为可能,并且可以密切控制蚀刻速率、表面状况和电导率。它还具有专利的多孔径放电系统,用于精确控制蚀刻/灰度时间和剂量。此外,其隔热室气体容器的外壳也有助于最大限度地减少颗粒污染。机器的用户界面直观易用,包括图形显示、数字数据显示等多种显示选项。该软件能够存储多达10个配方,以便于召回和编程方便。机器还具有自动调整功能,可确保对任何基材进行精确的蚀刻或灰化。PLASMATHERM VLR的安全功能也是一流的,用户界面上有一个紧急停止按钮,用于快速紧急关闭能力,还有一个烟雾密封系统,用于捕获和安全清除任何有毒的烟雾、颗粒或蒸气。总体而言,VLR 蚀刻器/asher是满足工业蚀刻和灰化需求的理想选择。它是一台高度先进的机器,具有精确的蚀刻/灰化功能、直观的用户界面、安全的操作,而且用途广泛,可以满足各种蚀刻/灰化需求。此外,它体积小巧,噪声水平低,非常适合任何规模的设施中的操作,而且成本相对较低,因此是许多应用程序的经济高效选择。
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