二手 PLASMATHERM VLR #9156981 待售

PLASMATHERM VLR是一种先进的蚀刻和灰化设备,旨在实现对各种基板的高精度阵列和处理。它采用高能电子回旋共振等离子体源与快速热退火相结合，达到令人印象深刻的工艺精度和性能。VLR是一种全自动蚀刻和灰化系统,能够处理尺寸从1到9英寸不等的基板。该装置还采用了一系列的蚀刻气体和气体注入技术，以确保最佳的蚀刻效果。蚀刻过程由集成的计算机机器控制，允许设置和监视各种蚀刻参数。蚀刻过程完成后，基板迅速加热以去除残留的光致抗蚀剂，留下干净的表面准备进一步加工。PLASMATHERM VLR使用三源并行ECR等离子体源实现精确蚀刻条件。对ECR等离子体的严格控制允许对曲率半径最小的深层结构进行高精度蚀刻。此外，根据特定工艺和基材定制蚀刻参数的能力意味着用户可以获得最佳的蚀刻结果。VLR还具有许多其他工艺功能，如蚀刻选择性控制、基板偏置、深退火和等离子体预处理。这允许用户根据自己的特定需求定制蚀刻和灰化过程。PLASMATHERM VLR还提供了一个集成的冷却工具,以减少由于高蚀刻速率而造成的设备损坏,从而确保所有应用的最佳效果。综上所述，VLR是一种先进的蚀刻和灰化资产，旨在对各种基板进行高精度的图桉和加工。该模型采用了ECR等离子体源和先进的热退火技术的组合，以令人印象深刻的工艺精度和性能。此外，该设备还提供了一系列的蚀刻气体和气体喷射技术，以提供卓越的工艺控制。集成冷却系统可确保设备不会因高蚀刻率而损坏。PLASMATHERM VLR具有全面的特点，是高品质蚀刻和灰化的完美工具。