二手 PLASMATHERM VLR #9205771 待售

PLASMATHERM VLR是为半导体、光电和微电子行业的各种应用而设计的最先进的蚀刻器/asher。这台用途广泛的机器非常适合深层反应性离子蚀刻（DRIE）、等离子体灰化器以及其他需要精密蚀刻和灰化的工艺。该机基于三区设计，允许底物在第一区用气态氧或活化氮"预处理"，以去除表面污染物，防止表面损坏。第二个区域被设计为充分锐化已经蚀刻到基板上的特征。第三个区域提供惰性气氛，能够在同一个炉中蚀刻和退火。这台机器装有微波发电机，用来制造等离子体场。与传统的射频技术相比，这提供了更高的精度。微波功率可以调节，使工艺速率得以优化。这也提供了一个有效的安全功能，无法检测到基板的错位导致立即关机。该机器还可以安装额外的升降头和底板，允许在真空环境中退火，这对于实现镍和金的高均匀性是必不可少的。基板也直接加热，允许更高水平的温度均匀性。VLR配备了高级软件，使用户能够控制和监控流程的各个方面。它也与种类繁多的气体兼容，使得它可以在许多不同的蚀刻和灰化应用中使用。这些功能使PLASMATHERM VLR成为各种行业的理想选择,使用户能够以最低的工作量获得较高的生产率和效率。该机器也是高度可靠的，确保过程是可预测的重复和质量的结果是一致的。这样可以确保此通用系统是实现高性能和准确性的绝佳选择。