二手 PLASMATHERM VLR #9225837 待售

PLASMATHERM VLR是一种先进的干蚀刻设备，设计用于高精度的微加工，具有蚀刻复杂3D图样的能力。该系统基于行业标准的无功离子蚀刻（RIE）技术，利用高压等离子体以受控方式从基板上去除目标材料。它结合了高光谱亮度和高功率密度，以极高的精度和重复性实现超快蚀刻速率。VLR由一台极高频射频（RF）发电机、单元控制软件和一个有两个独立平面等离子源的真空室组成。这些与射频发生器相连的平面等离子体源提供了均匀的等离子体生成，确保了具有多种特征的零件的高精度微加工。PLASMATHERM VLR是针对各种材料上的真空和反应性气体化学而量身定制的，包括许多高长宽比结构。其设计支持氧化物和非氧化物蚀刻，在多平面腔室上具有可调节的偏置电压，可实现对不同材料的高选择性。该蚀刻机还能够退火、钝化和沉积过程。该工具支持各种功率密度,确保各种几何形状的最佳蚀刻参数。它配备了实时监控，能够精确控制蚀刻工艺参数。该软件还为配方开发提供了用户友好的界面。VLR的设计占地面积很小，而且利用了非腐蚀性材料，使其易于适应几乎任何实验室环境，包括洁净室。它也是完全自给自足的，使得安装和例行维护容易执行。总体而言,PLASMATHERM VLR是不断要求高精度和高速度的应用的绝佳选择。其独特的特点组合，使其成为微加工要求较高的项目的理想选择，具有可重复的效果。