二手 PLASMATHERM VLR #9225838 待售

PLASMATHERM VLR是由PLASMATHERM Applied Technology开发的蚀刻和灰化设备。这台多用途的机器设计可以容纳广泛的基板，包括半导体、微电子、光伏元件等等。适合各种工作，从简单到复杂，保证高质量的成果。VLR由几个组件组成，包括集成气体控制台（IGC）、气体处理控制台（GPC）、自动加载/卸载以及单室或多室处理室。IGC包括一个数字显示屏，方便系统操作和气体流量调节，允许精确控制蚀刻/灰分配方。GPC管理气流和压力,最多可存储15种蚀刻/灰分配方。该机采用等离子体蚀刻和氮气灰化相结合的方式，由专有的高密度微波发生器实现。这使得可重复的结果具有强大的选择性和锐利的分辨率，而它的旋转木马允许快速加载和卸载基板。此外,该设备的远程诊断能力允许快速检测和补救操作异常。PLASMATHERM VLR是一种精密的蚀刻器/asher机器,可提供具有一致和可靠性能的可重复结果。其用户友好的设计使操作员能够直观地与工具交互，其快速高效的操作有助于减少停机时间并提高吞吐量。该资产是寻求可靠蚀刻和灰化能力的半导体制造商的绝佳选择。