二手 STS / CPX Multiplex ICP #293609292 待售

STS/CPX Multiplex ICP是一种蚀刻器和asher技术，用于创建高质量的微电子元件。它是业界的基准技术,提供高吞吐量、可靠的工艺结果和降低的材料成本。此技术采用模块化设计,可以适应客户的特定需求。STS Multiplex ICP是一种等离子体蚀刻器和asher，设计用于制造半导体晶片和进行MEMS结构，包括光刻和蚀刻掩蔽层。该设备采用先进的ICP（感应耦合等离子体）技术，可针对干蚀刻、湿蚀刻和灰化等各种等离子体工艺量身定制。它还具有由PC基本控制器触发和控制的能力。CPX Multiplex ICP是一个包含蚀刻和灰化功能的单室系统。蚀刻过程基于低频感应耦合气动微波源。这意味着该单元可以有效地管理蚀刻步骤，而无需单独的腔室。该机利用特殊技术，将等离子体均匀地分布在较大的基板区域。这提供了对蚀刻过程的精确控制,并允许一致的结果。Ashing process is based on a standard atmosphic pressure chemical oxygen该工具还配备了自动晶片加载功能，具有高达每小时12个晶片的高吞吐量。它具有精确的温度控制资产，保持稳定的温度以防止基板上的任何热损坏。它还具有先进的处理监控能力，以确保可重复的结果。多重ICP是高性能微电子应用的理想解决方桉。容易与各种流程监控系统集成，兼容各种软件程序进行精确处理控制。此蚀刻器和asher模型提供了出色的可重复性和高吞吐量,提高了生产率、节省了成本并提高了产量。