二手 STS / CPX Multiplex ICP #293633096 待售

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ID: 293633096
Advanced Oxide Etcher (AOE).
STS/CPX Multiplex ICP(感应耦合等离子体)蚀刻器/asher是一种先进的设备,用于底物的反应性离子蚀刻和灰化。利用强大、高效的电感耦合等离子体(ICP)源提供高速、高精度、均匀的蚀刻和灰化操作。该系统能够处理各种需要蚀刻或灰化的基材,包括金属、电介质、半导体和复合材料。STSGCPX STS Multiplex ICP 蚀刻器/asher结合了标准STS机的行之有效的性能和高级特性以及高性能ICP源,使非常苛刻的基板能够蚀刻和粉刷。ICP源提供高离子密度、高能离子轰击,通过精确控制的喷嘴引导到基板上,以实现均匀蚀刻或灰化。该单元还提供了无与伦比的均匀性和可重复性,能够在较高的蚀刻速率下达到微米精度的分数。该机包括一个集成的加工室,能够进行多个过程周期和广泛的温度范围。集成气体输送工具可精确控制气体化学流动和压力,有助于最大限度地提高蚀刻速率,减少基板和腔室的污染。该资产还配备了用户友好的多屏图形界面,允许用户轻松操作,方便卓越性能。CPX Multiplex ICP 蚀刻器/asher使用户能够安全、高效和准确地蚀刻和粉刷各种材料,包括介电材料和金属材料。该模型具有高容量的可生产性、高可重复性、出色的冷却能力和低成本的操作成本,使其成为蚀刻和灰化制造、原型设计和研究应用的理想选择。该设备用途广泛,能够处理各种基材和应用,能够根据用户的个人需求定制其操作。
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