二手 STS / CPX Multiplex ICP #293684725 待售
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STS/CPX Multiplex ICP是一种针对高精度蚀刻和灰化工艺而设计的蚀刻器/灰化器,非常适合实验室环境。该蚀刻器/asher具有集成的模块化设计,具有数字温度、气体和压力控制功能。STS Multiplex ICP使用离子化或基于等离子体的蚀刻和灰化技术，使用的是氙气、氙气或k气，在广泛的基材上实现极为精确的蚀刻工艺。该设备利用脉冲直流电和特定射频（RF）的溷合，产生电离粒子或等离子体，然后输送到基板表面。精确的频率保证了获得恰到好处的等离子体温度和密度，以达到所需的精确蚀刻和灰化过程。该系统利用多个供电通道确保精确甚至等离子体输送，确保即使是最敏感的基板也能精确蚀刻或粉刷。CPX Multiplex ICP的精确等离子体和功率传递，即使是最细腻的基板也能蚀刻和灰烬，没有损坏的危险。该装置以变频和功率水平运行，使操作员能够根据基板的类型和厚度量身定制蚀刻工艺。通过包括变频调谐，进一步提高了机器蚀刻和灰化工艺的精确度，这有助于在多个目标和基板上保持一致的工艺产量和可重复性。该工具也非常精确和通用，拥有高达10,000厘米/秒的工艺窗口，温度和压力控制分别高达400摄氏度和0.001mBar摄氏度。Multiplex ICP的多功能电源传递资产允许在各种基板上完成各种蚀刻和灰化过程。来自STS的STS/CPX Multiplex ICP是一种高度精确且用途广泛的蚀刻和灰化模型,专为实验室环境量身定制,提供精密蚀刻和灰化工件,即使在最精致的基板上也是如此。该设备具有数字温度、气体和压力控制、多通道供电和变频调谐，以确保精确和可重复的蚀刻和灰化过程。系统的蚀刻和灰化过程可以在高达10,000厘米/秒和高达400摄氏度的温度下完成。
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