二手 STS / CPX Multiplex ICP #293807045 待售

STS/CPX Multiplex ICP是一个蚀刻器/asher。它旨在提供精密蚀刻、灰化和物理/化学处理。该设备利用多环反应化学手段提高效率和控制。STS提供卓越的蚀刻和灰化性能,蚀刻速率高达20nm/min,并具有可选的N2O低能耗非接触蚀刻（LENTE）功能。多重蚀刻室系统提供了自动、精确的蚀刻步骤定义，能够在多个蚀刻室中并行执行复杂的蚀刻序列。该单元的批量最多为24个200 mm （8英寸）的基板单元,方向为面向,或在Si载波中密封,功率最大为1500W RF。ICP的腔室设计包括一个装有几个感应耦合等离子体源的反应腔室，这些源可以彼此独立运行，使机器能够轻松地在多个蚀刻或灰化化学之间切换。该工具配备了配方定义、自动对焦、运行时X射线监控等自动化功能，用于精确厚度控制和深度剖面操作。此外,STS Multiplex ICP还提供独特的散热管理功能,例如采用四个高性能风扇来优化换热效率,以及选择冷却时间和温度。ICP设计还允许用户选择他们首选的晶圆审批资产。外部闭环伺服扫描仪可用于晶片逐个载荷和卸载操作，或者集成的自动晶片载荷扫描仪可用于自动化过程。此外，ICP还配备了内部电源和控制模型，允许用户自定义自己的流程参数，以实现最大的可重复性。CPX Multiplex ICP设计用于MEMS、RF-MEMS、半导体和集成电路的制造和封装。它是各种应用的理想解决方桉,从高精度蚀刻、灰化和物理/化学加工到快速生产高质量设备。ICP的高级设计、性能和灵活的功能使其成为各种蚀刻和灰化应用程序的理想选择。