二手 STS / CPX Multiplex ICP #9158194 待售

STS/CPX Multiplex ICP是一种蚀刻器/asher,设计用于在高级技术环境中处理多个蚀刻/灰烬操作的过程列。该设备具有集成设备，可同时用于双化学环境和处理多个晶片。此功能允许用户减少操作时间并提高效率。STS Multiplex从ICP蚀刻系统开始。该单元的工作原理是允许将材料从晶片上剥离,以便在预定义的地形中创建阵列。带电粒子密度高的等离子体由低压室产生，用于从晶圆中剥离材料。然后它穿过一系列屏蔽，将腔室与外界环境隔离开来。蚀刻过程完成后,晶圆将被转移到灰化机。该工具类似于用于蚀刻的资产，但使用了不同类型的等离子体。这种等离子体产生高密度的自由基，分解晶圆上的有机污染物。然后，晶片经过一系列加热的烤箱，这些烤箱干燥并除去剩余的污染物。CPX Multiplex是一种可靠的高性能机型,具有多功能性和精确度。该装置是可调的，可以编程蚀刻和灰烬各种材料。该设备还具有监控算法，用户可以根据需要监控和调整流程参数。这对于确保最高质量的蚀刻和灰化效果非常重要。STS/CPX Multiplex技术的改进使其成为产生一致质量蚀刻和灰化的最可靠和最有效的方法之一。该系统非常适合IC制造和MEMS生产等先进技术操作。STS Multiplex旨在提供通用、精确的流程功能,同时提高整体生产效率。