二手 STS / CPX Multiplex ICP #9210326 待售

STS/CPX Multiplex ICP（感应耦合等离子体）是一种先进的蚀刻/灰化设备，设计用于半导体制造。它是一个半导体器件制造系统，利用感应的力量在晶圆表面蚀刻图样。它使用一个强大的，电离气体等离子体创建模式，以最小的细节在高精度水平。等离子体是由两个射频耦合到气体（如氟化气体）产生离子或带电粒子而产生的。这些带电粒子在一个封闭的室内以极高的速度传播，并与样品晶片的表面发生反应，形成蚀刻图样。构成这种等离子体的电子通过电路板加速，产生高速推进过程，允许进行详细的蚀刻。STS Multiplex ICP以创造极高精度的亚微米模式的能力而闻名。蚀刻是在高真空室中进行的，以便对等离子体环境进行最大程度的控制，并且借助先进的部件和定制软件，该单元可以以高速精度创建精细的图样。CPX Multiplex ICP可以在钝化模式下运行，利用层来保护样品上任何暴露的金属。这降低了在诸如洁净室等反应性环境中蚀刻时损坏或污染的风险。该机还适合蚀刻成石英、氧化铝、蓝宝石等硬质材料，使用户可以精确蚀刻错综复杂的细腻结构。总体而言,STS Multiplex ICPAsher是半导体行业中非常有价值的工具。其独特的速度、精度和图桉精度组合，使其成为需要在基材上创建错综复杂图桉的制造商的理想选择。其精密的工具设计、先进的元件和易于保护的模式使其成为高质量、高通量生产精密蚀刻元件的绝佳选择。