二手 STS / CPX Multiplex ICP #9313228 待售

STS/CPX Multiplex ICP蚀刻器是一种蚀刻器或asher，使用感应耦合等离子体（ICP）技术蚀刻或粉刷多种光刻剂等产品。这种蚀刻器是一种高效的工具，可以精确控制诸如功率、频率、气流和压力等工艺参数。STS Multiplex ICP蚀刻器设计有一个柔性腔室，可以根据应用程序和正在处理的材料，用不同的ICP源重新配置。ICP源可以快速切换,从而可以从一个作业快速切换到下一个作业。设备还包括一个气体输送系统和一个冷却组，允许将各种气体引入腔室。气体可用于产生特定的蚀刻或灰分图样，并可调整以控制蚀刻速率和选择性。CPX Multiplex ICP蚀刻器具有许多功能,非常适合各种应用。精密的功率控制允许改善蚀刻或灰分均匀性，并使用户能够实现高度精确的基板蚀刻或灰分。此外，该单元还配备了自动聚焦功能，允许等离子体自动聚焦，以便产生均匀的蚀刻或灰烬。这在处理斜片时特别有用。机器还有一个集成的冷却工具，有助于防止过热。综上所述，Multiplex ICP蚀刻器是一种高效的蚀刻或灰化工具，适用于一系列应用。它有一个灵活的腔室，可以很容易地重新配置，以适应手头作业的具体要求，并且自动聚焦特性和可调节的气体输送资产对蚀刻速率和选择性提供了极好的控制。此外,精密的电源和冷却系统可提高均匀性,防止型号过热。