二手 STS / CPX Multiplex ICP #9363068 待售
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STS/CPX Multiplex ICP是一款高端蚀刻/等离子体灰化设备，具有处理包括氧化硅和石英在内的多种基板的能力。它具有多插槽自下而上的装载机，最多可支撑12个基板和两个加工室。该工艺室具有内置冷却风扇和独立的高频电源,用于蚀刻和灰化。灰化工艺提供了碳化物和石英基板的重复结果。该系统基于Addison Engineering Advanced Digital Imaging Technology （ADIT），这种先进的成像技术在每次通过时提供基板的高分辨率图像，提供精确的过程控制。该单元可用于在MEM、LCD等特种材料上蚀刻和粉刷硅片、金属、石英等各种基材。也可用于蚀刻和粉刷薄膜层，用于光刻工艺。该机具有内置的自动调谐功能，可用于调整过程参数以确保可重复结果。该工具还具有内置的计算机控制资产，可用于监测和控制单个位置的蚀刻和灰化过程。该模型还具有安全联锁系统，以防止任何潜在的事故。STS Multiplex ICP可用于半导体、医疗设备、光伏、LED、MEM等多种行业。该设备还与包括氟化氢、盐酸、硫酸和氯基化学品在内的多种化学品兼容。该系统还配备了安全功能，保护用户免受危险化学品和烟雾的影响。CPX Multiplex ICP是一种非常可靠的蚀刻/等离子体灰化装置，提供一致的结果和可重复性。该机易于使用，自动化控制功能使监控过程变得简单。该工具是一个方便和经济高效的选项，蚀刻和灰化各种基材。
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