二手 STS / CPX Multiplex ICP #9363071 待售
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STS/CPX Multiplex ICP是利用感应耦合等离子体（ICP）在各种基板（如硅和聚合物以及玻璃和其他材料）上创建物理掩码的自动感应耦合等离子体蚀刻器/Asher。ICP 蚀刻器/asher为工业和研究应用提供了高精度、高分辨率成像、沉积和蚀刻/灰化的经济高效解决方桉。STS Multiplex ICP是一种高度通用的设备,能够处理各种基材和材料。它使用基于ICP的技术提供精确、可重复的物理掩蔽和最小残留。用于创建等离子体的高压脉冲技术（HVIT）提供了一种低成本、高通量的解决方桉,用于在高度敏感的基板上进行蚀刻和灰化应用。CPX Multiplex ICP的宽过程窗口确保了非常均匀的结果,即使在小型基板（如MEMS传感器和芯片）上也是如此。设备可驱动软件操作方便，保证了可重复、高质量、蚀刻速率可靠的效果。软件控制,例如脉冲能量和脉冲重复率,使用户能够自定义和控制过程参数。该系统配备了直观的电子可控用户界面，使用户能够根据需要监控和操作蚀刻参数。Multiplex ICP专为高长宽比和低长宽比基板而设计,确保了一致的结果。它具有高角度沉积能力，能够以高精度制造复杂结构，为用户提供多种选择，以高精度生产复杂的口罩。STS/CPX Multiplex ICP设备还具有加固的EDGE加热单元,可高效可靠地运行。EDGE允许基板加热以实现高速蚀刻和灰化。EDGE机器能够处理各种尺寸（内部或外部）且温度范围很广的基板,可确保均匀的温度以保持一致的蚀刻速率和均匀的遮罩形状。强大的全球支持网络可确保在需要时提供维护和技术援助。将工具连接到网络的能力允许在紧急情况下进行远程故障排除和技术支持,从而大大减少了停机时间并提高了工作效率。总之，STS Multiplex ICP是一种先进的蚀刻器/asher，在广泛的底物上提供了出色的均匀性和可重复性。它结合了价格合理、可靠的EDGE加热资产、强大的软件控制和全球支持网络,使其成为蚀刻/灰化的理想选择。
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