二手 STS / CPX Multiplex #293601086 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293601086
Advanced Oxide Etcher (AOE)
Loadlock module, 4"
AOE Chamber module
LEYBOLD Mag-Lev Turbo pump: 2000 L/sec
ICP Chamber.
STS/CPX Multiplex是一种蚀刻器/asher，是一种计算机控制的设备系统，用于半导体工业中各类材料的精密蚀刻和灰化。它由两个主要组成部分组成；基板转运站（STS）和计算机辅助等离子体蚀刻工艺（CPX）。STS/CPX是一种用于将晶片从负载/卸载端口安全移动到asher/etcher腔室的设备。STS由一组机电臂、一个安全运输模块和一个刀具更换器组件组成。这些臂的设计是通过使用精确的运动夹紧晶片来固定晶片，以确保晶片在机器内的精确对准。刀具更换器装配负责更改蚀刻和灰化过程中可能需要的任何必要零件或元件。CPX是计算机控制的蚀刻和灰化系统,是STS/CPX的一部分,可精确控制蚀刻和灰化过程的各个方面。这包括对温度、压力以及流量、功率和时间的精确控制。通过使用高级软件界面优化和控制蚀刻参数,STS旨在提供高质量的蚀刻和灰化结果。STS Multiplex将CPX刀具更换器的精确度与计算机辅助等离子体蚀刻工艺相结合，创建一个能够在蚀刻和灰化方面取得非凡成果的蚀刻器。该蚀刻器能够实现各种基材材料和工艺的高重复性和准确性。它还具有易于重新配置以适应特定应用程序要求的能力,使其成为那些需要获得可靠、准确和可重复蚀刻结果的用户的理想选择。
还没有评论