二手 STS / CPX Multiplex #9145668 待售
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ID: 9145668
晶圆大小: 8"
Cluster ICP etcher, 8″
Brooks VCE4 and Mtr5 robot
C033 Cluster handler
(2) Temperature controlled lids
Loadlock: Brooks VCE 4 with manual door
Corema chiller on metal ICP chamber
ICP Chamber (Metal, dielectric etch)
(12) process gas manifold
Bias capabilities
Chuck: Heat exchanger
Turbo pumps: TMH 100
Processed: Silicon etch
ICT Chamber (Asher / Stripper)
Gases: N2, O2, NH3, CF4
Turbo pump
NOAH Chiller.
STS/CPX Multiplex是一个专门的蚀刻器/asher，旨在帮助陶瓷包装和其他基板如玻璃的蚀刻和修剪。STS Multiplex是一种高精度湿蚀刻/修整机，可广泛应用。它具有集成的风冷真空设备，以实现最佳的蚀刻和修剪效果。该系统可以加工厚达18mm的基板，非常适合陶瓷、玻璃和其他基板的蚀刻和修剪。CPX Multiplex具有连接到可编程逻辑控制器（PLC）的强大泵机,能够精确控制蚀刻和修剪过程。它配备了一个界面，允许用户根据自己的特定应用进一步定制机器。这包括设置蚀刻和修剪压力、速度和时间。它还具有多种内置安全功能,以确保工具安全高效地运行。Multiplex还配备了许多最先进的功能,使其成为寻求高级蚀刻和修剪解决方桉的用户的理想选择。其高精度的测量资产使用户能够准确测量每一个蚀刻和修剪的深度，而其内置的对齐模型则确保蚀刻始终完美无缺。其先进的微处理器控制设备提供了过程与系统之间快速准确的数据传输，确保用户的蚀刻始终优化到其精确的规格。综上所述,STS/CPX Multiplex是一种理想的蚀刻和修剪机,适用于那些希望为各种应用提供超精确蚀刻和修剪解决方桉的用户。它具有集成的风冷真空装置、附着在PLC上的强大泵机，以及先进的微处理器控制工具，可提供极致的蚀刻和修剪体验。
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