二手 STS / CPX Multiplex #9162410 待售
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ID: 9162410
晶圆大小: 4"
优质的: 2002
ICP AOE system, 4"
Load lock
Previously used for oxide, pyrex, quartz etching
Process gases plumbed: C3F8, C4F8, SF6, CF4, Cl2, C2H4, O2, H2, Ar, He
(2) Affinity chillers
Chiller 1: RAA-005J-CE01CBD
Chiller 2: PWG-060K-BE33CBC2
Chuck: Mechanical clamp
LEYBOLD MAG 2000 CT turbo pump
MAG drive 2000 turbo controller
EDWARDS IQDP80 Dry pump
EDWARDS D40BCS Oil pump
MILLIPORE CDLD 1112E HE cooling manometer
ENI ACG-10B RF generator
AE RFG 3001 RF generator
Finger and ceramic ring has broken
208 V, 60 Hz, 3 phase, 80 A
Missing part:
Gas box
2002 vintage.
STS/CPX Multiplex 蚀刻器/asher是一种用于晶圆蚀刻和灰化的自动化设备。它设计用于在一个操作中同时粉碎和蚀刻多达8个晶片,以提高生产率、吞吐量和成本效益。STS采用不锈钢腔室建造，提供稳定的环境，确保更长的使用寿命。它有一个高温炉，能够达到高达1300 °C的温度，是蚀刻和灰化硅等材料的理想之选。系统还增加了调节工艺参数的能力，如温度、工艺时间、气体流量等。可以为每个配方预设ashing/etching过程,并在运行时监视。CPX具有先进的过程控制,包括自动时间排序、温度斜坡分析和过程设置点管理。这允许用户精确控制流程参数，如流速、温度设定点和循环时间。能够为蚀刻和灰化设计各种热和温度轮廓,使其成为最通用的蚀刻/灰化系统之一。STS/CPX利用高级监控单元来控制灰化和蚀刻过程。这包括室内压力的实时感测、晶片状态的显示、压力的自动校准和调整以获得最佳的灰化/蚀刻性能,以及蚀刻/灰化过程的直接控制访问。提供最高温度均匀性，机器还具有独特的晶圆处理工具设计，确保整个腔内所有晶圆的良好温度均匀性。该资产配备了计算机控制的晶片升降机/定位，以及可选的手动升降机/定位。总体而言，STS Multiplex 蚀刻器/asher是高效、高通量晶圆蚀刻和灰化的绝佳选择。凭借先进的工艺控制、精确的参数和均匀的温度，是高效可靠生产的理想之选。
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