二手 STS / CPX Multiplex #9316685 待售

STS/CPX Multiplex是一款先进的蚀刻/asher设备，旨在满足尖端微电子行业的需求。该系统采用多根离子束和激光光源，为众多工艺提供精密蚀刻和灰化，包括但不限于三维蚀刻、深沟蚀刻、细线蚀刻、背面蚀刻、深蚀刻。它是一个完全自动化的单元,利用其最先进的软件,用户可以以前所未有的精确度和精确度快速配置几乎所有蚀刻或灰化过程。机器由包含离子源、激光光源和其他必要组件的主腔室组成。离子源的设计使不同过程产生不同的离子束，同时将光束功率集中在样品的特定区域。激光光源用于在样品表面上创建二维形状，既可用于蚀刻，也可用于灰度。此外,还可以对该源进行优化,以便在最需要的地方提供精确的激光电源,从而提高蚀刻和灰化效果。腔室中的其他组件包括晶圆安装装置、离子束过滤器和低温冷却工具。基于GUI的智能软件控制蚀刻和灰化作业,相应地配置资产参数并控制过程的每个阶段。用户可以轻松地对蚀刻/ashing作业进行编程,包括梁倾斜、电流、梁速度、停留时间等操作。STS Multiplex还具有精确的现场蚀刻监测和过程灌溉功能,可随着工作的进展进行调整,进一步提高其准确性。此外,该模型还配备了内置的配方库,允许用户回忆经常使用的流程,并根据需要进行进一步调整。总体而言，CPX Multiplex是一款先进、功能强大的蚀刻/灰烬设备，旨在满足现代微电子行业的需求。得益于它的多向离子束、激光光源和智能软件，它可以通过长时间的免维护操作提供极其精确的结果。