二手 TEGAL 901e #293594314 待售

TEGAL 901e是一款考虑生产半导体器件而设计的蚀刻器。它能够在可以自动化或手动控制的单面或双面蚀刻系统中运行。TEGAL 901 E利用了一种用氟碳气体分子等离子体蚀刻的抗蚀剂涂层晶片。这种等离子体是由射频能量、氙和氧气的组合产生的，它们将碳氟化合物分子分解成小分子，在晶圆表面充当蚀刻剂。这是有利的，因为可以精确控制反应，使图样的蚀刻细节高于湿蚀刻剂。设备还包括装有气体溷合物的真空室以及射频和直流电源。901e提供13种不同的功率级别,可以优化过程。它还具有三个过程计时器,允许控制过程时间,以确保特定的蚀刻深度。901 E可以在晶片上以2-3%的均匀度进行蚀刻,并具有将图样蚀刻到0.5微米的能力。该系统还可以容纳直径达200毫米的晶片。与提供类似功能的类似系统相比，该单元本身相对经济，TEGAL 901e在世界各地的许多半导体实验室中使用。TEGAL 901 E的维护是最小的,而且该机器的设计是为了简单的使用和操作.它可以用在包括硅、铝、钛在内的大多数种类的基板上。901e用途广泛、可靠,是寻求高品质蚀刻器者的合适选择。