二手 TEGAL 901e #293595381 待售

TEGAL 901e Etch/Asher Equipment是一种多功能并行处理系统，设计用于基于蚀刻/asher技术的制造和研发。它配备了10062个独立的加工区，使用户可以利用并行处理技术。利用多阶段、多气体的方法，TEGAL 901 E可用于沉积、金属蚀刻、氧化物去除、掩蔽、选择性蚀刻等多种蚀刻/粉刷应用。901e利用耐腐蚀的陶瓷室，可加热至高达650°C的温度。它由先进的镍超合金构成，用于优化热性能和电机控制。这与两个区域的工艺室设计相结合，每个区域用气密波纹管独立地与另一个区域密封。这样可确保两个区域之间的处理条件一致。该单元通过一台先进的计算机控制控制台进行控制。这有助于自动对工艺参数进行排序,如基板预清洗、温度和射频功率控制、电离源选择、压力和蚀刻/灰度循环时间。901 E还具有附加几个外围设备的能力,如挥发性有机物监测器、晶片处理刀片和真空计。这台蚀刻/Asher机器可用于各种气体，包括Cl2、BCl3、SF6和NF3。该工具通过计算机控制控制台及其众多外围设备易于控制和维护。TEGAL 901e是一种用于蚀刻/粉刷应用的功能强大且可靠的资产,具有应用于多种工艺化学的灵活性。该模型可靠的陶瓷室加热能力和两区能力使其成为芯片生产、太阳能电池制造和光伏行业的理想应用。