二手 TEGAL 901e #293616017 待售

TEGAL 901e是一种高级蚀刻器/asher，设计用于各种电化学及相关工艺。它采用多室设计，能够容纳大型工具捕获物。四个腔室中的每一个都在船上独立控制，允许同时蚀刻和粉刷每个腔室中不同的基材和材料。TEGAL 901 E配备了三区温度控制设备，允许您分别调节工具室、固体前体输送室和蚀刻室的温度。温度被调节到+/-1°C精度以内，在蚀刻或灰化过程中提供对工艺参数的精确控制。901e还包括五气溷合输送系统，让你在精确的范围内调节氧气、氯气、氙气、氮气和二氧化硫的水平。功能强大的901 E利用实时数据采集单元将流程数据传输到PC或其他计算机接口。此信息可用于更改流程和监视性能。TEGAL 901e具有可调节速度和间距参数的精确模式。可选择的蚀刻流速、激光功率和冷却机可有效去除不希望得到的材料。TEGAL 901 E还具有高速扫描功能，使其能够对250 µm至10 mm的基材厚度进行蚀刻/灰化。901e具有直观的图形用户界面和内置液晶面板。它包括几个安全功能，如自动压力控制工具和热切断开关。直观易用的控制软件允许用户轻松访问和保存流程配方和配置文件数据。901 E是一款先进而强大的蚀刻和灰化工具，非常适合电子和电化学原型制作和制造。