二手 TEGAL 901e #293618054 待售
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TEGAL 901e是一种蚀刻器/asher，是一种用于蚀刻和粉刷基板的装置。TEGAL 901 E能够在直径不超过8英寸的基板上进行蚀刻和灰分操作。901e设计符合人体工程学,易于使用。它具有易于读取的液晶屏和自校准微处理器控制器。这台蚀刻和灰化机还设有气流控制阀，其射程为30-400 mm H2O，使操作员可以调整气压，进行更精确的蚀刻和灰化。901 E配有光学监控设备，配有摄像头，用于查看蚀刻和灰化区域，以定位基板。这样可以使基板精确对齐,并确保蚀刻和灰化过程准确。TEGAL 901e还设计了一个基板旋转控制，以选择一个基板速度范围高达每秒120度。这提供了各种食谱选择性蚀刻和灰分的灵活性。它还具有一个冷却的子升降机组件，它允许基板在蚀刻和灰化过程中被He-冷却。TEGAL 901 E有两个高灵敏度气体剂量系统，集成在其控制面板中。它还拥有先进的机载粒子监测系统，可以让操作员检查操作环境中的粒子水平。901e具有退火炉和热传递控制的蚀刻和灰化过程。它还有一个集成真空单元和一个烘焙站，以进一步改进蚀刻和灰化工艺。901 E具有以下几个安全功能：紧急停止按钮、低电流监测机和用于检测紫外线和磨损危险的紫外线照明器。TEGAL 901e专为聚合物薄膜、铝箔和薄膜等敏感基板的蚀刻和灰化而设计，以实现高蚀刻率、重复性和均匀性。这款蚀刻器/asher非常适合光掩模、液晶显示器、有机发光二极管、薄膜等基板的蚀刻和粉刷。TEGAL 901 E是一种先进、可靠的设备,能够对任何基材进行成功的蚀刻和灰化操作。
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