二手 TEGAL 901e #293635731 待售

TEGAL 901 e是一款高级蚀刻器，旨在产生具有小特征或狭窄几何形状的高度精确的图桉和图桉。它是市场上最可靠、最有效和最高效的蚀刻器之一。该系统利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和其他技术蒸发材料，并利用模板创建特征，从而能够创建尺寸到纳米级的精细、定义的特征。TEGAL 901 E构建在行业标准平台上,能够提供干净、可重复的结果,同时需要最少的维护。该设备采用自定位工作台,内置静电卡盘,直径可达500毫米,可容纳各种基板和材料。基材在受控的气氛中加工，确保可靠、可重复的加工。901e是完全自动化的,具有触摸屏用户界面,允许选择用于增量调整的配方。配方存储在内存中以供将来参考，从而允许从一个应用程序到另一个应用程序的模式快速变化。该系统利用多发射离子源，以不同角度发射多种能量的离子，确保材料的图样准确。其真空系统是最先进的，能够延长寿命和高精度蚀刻。901 E设计为执行多层次蚀刻的精密图样，非常适合半导体器件生产等应用。TEGAL 901e是一种高度可靠且功能强大的蚀刻器,在多层且具有挑战性的高级设备制造设置中提供卓越的控制。其智能特性和顶尖性能使其得以用于专业设置和先进的材料研究应用。其可靠的性能和高效的操作保证了优异的效果.