二手 TEGAL 901e #293652770 待售

TEGAL 901e
製造商
TEGAL
模型
901e
ID: 293652770
晶圆大小: 6"
Plasma etcher, 6".
TEGAL 901e是为高精度应用而设计的功能强大的蚀刻器/asher。它用于在包括金属、合金、塑料、陶瓷和半导体材料在内的多种材料上创建复杂的图样、微蚀刻和深层结构。TEGAL 901 E具有双波束、双频率、双脉冲调制等特点,对结果的准确性和可重复性毫不妥协。它采用了一个独特的无柱塞自组装反应室,可选择的压力范围为50至250毫巴。该设备采用温度控制环境,能够在高真空环境中达到高达2500 °C的工艺相关温度,从而实现高精度等离子体蚀刻。901e配备了高分辨率的X-Y扫描仪和用户选择的z轴机动位移控制,可以精确控制蚀刻深度。它还具有高速蚀刻速率,允许系统在一小时内进行1.5万次以上的蚀刻。901 E旨在提供灵活性,允许用户选择几种蚀刻类型,包括湿蚀刻、干蚀刻、反应性离子蚀刻、深反应性离子蚀刻,以及每种蚀刻类型的不同化学成分。该单元还具有用户友好的图形用户界面,允许用户方便地编辑配方和从远程界面控制机器。TEGAL 901e是各种蚀刻应用的理想选择,包括通过集成电路的闸层进行无功离子蚀刻,为医疗植入物创建错综复杂的图样,以及为显示器和灯具创建高度详细的图像。它也被用于表面处理和微蚀刻,例如用于制造非常复杂的纳米结构的各向异性蚀刻。总体而言,TEGAL 901 E提供了精确和可重复性,使用户可以轻松快速地蚀刻复杂的设计,同时保持卓越的精度。901e具有通用的设计和易于使用的用户界面,是寻找功能强大且精确的蚀刻器的研究人员和制造商的绝佳选择。
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