二手 TEGAL 901e #293654398 待售

TEGAL 901e是一种反应性离子蚀刻器，能够同时进行蚀刻和灰化处理。它是一款最先进的半导体工艺工具，具有平板显示器、直观的用户界面以及高容量、高通量的操作。利用先进的等离子体蚀刻技术，TEGAL 901 E提供了光刻胶等材料的精确、一致的蚀刻和灰化。901e 蚀刻器/asher有三个室-双蚀刻室和一个asher室。蚀刻室用来蚀刻材料，而asher室则用来清除表面残留物和碎屑。本产品采用直流电源供电，具有高性能、全计算机控制、基于微控制器的设备。901 E采用了高真空系统，提供了出色的操作简洁性、精密的工艺控制以及无污染的晶片。TEGAL 901 e 蚀刻器/asher包括一个高精度、全彩色的液晶触摸屏显示屏,用于进行蚀刻和灰度设置及调整。这些参数对于蚀刻和灰化过程都是可调的，包括速率、温度、压力和气体成分。可以配置和存储所有参数和设置,从而可以快速设置和轻松操作。在蚀刻过程中，TEGAL 901 E具有两个内部不平衡磁控管溅射源，使材料均匀沉积在晶片上。在灰化过程中，提供了两个同时利用冷等离子体灰化器和热等离子体灰化器的负载锁定灰化器腔室。901e的射频电源还具有一个完全由计算机控制的单元，允许精确控制蚀刻和灰化过程。901 E 蚀刻器/asher配备集成控制机，一次最多可控制16个晶片。晶片被容纳在一条皮带上，允许对多个晶片进行批处理。TEGAL 901e还配备了快速样品加载/检索工具,从而实现了高生产率和吞吐量。TEGAL 901 E 蚀刻器/asher是一种适用于任何生产环境的高效、精确且经济实惠的蚀刻和灰化解决方桉。