二手 TEGAL 901e #293723711 待售

TEGAL 901e是先进的单晶圆介电蚀刻和Asher的平台。该设备设计用于处理200毫米晶片，并用于支持湿法和干法。蚀刻器/asher是一个模块化系统,可在水平和垂直配置中实现快速、精确的蚀刻过程控制和温度均匀性。该单元拥有内置的智能过程控制技术，可方便调试和快速反应时间。作为蚀刻器,TEGAL 901 E建立在与其前代产品相同的原则之上,以提供更高的吞吐量和更大的过程控制。该蚀刻器还能够产生高长宽比蚀刻,精度高达+/-0.005 um,并最大程度地减少晶圆顶部的损坏。901e提供先进的等离子体化学控制,使微粒和微粒最小化.此外，该机利用增强的光束控制技术在晶圆的整个表面提供均匀的蚀刻。该工具还具有可持续的水下过滤器资产，可有效捕获颗粒并最大程度地减少污染。901 E具有专用的侧壁保护淋浴和加热淋浴板,可安全可靠地进行蚀刻和灰化。此外,该模型还包括一个FX-Solid端口,可以在晶圆运行期间进行现场SEG测量。TEGAL 901e配备了创新的触摸屏界面，使用户能够快速、轻松地设置和监控流程。该设备还提供了后处理追踪性和集成的媒体管理系统，可实现高效的流程监控和CD可重复性。为了提供精确的化学控制，该装置安装了一个复杂的自动化电路，可以不断监测和维护过程参数。此外,TEGAL 901 E的数据通信协议允许与外部设备和行业标准软件轻松集成。901e为符合最高安全标准而打造，是生产环境的理想选择。该机器坚固的结构确保了可靠和安全的操作，使其成为先进晶圆加工的可靠的蚀刻/灰度解决方桉。