二手 TEGAL 901e #293811529 待售

TEGAL 901e是为晶圆的精密蚀刻和/或灰化而设计的高级蚀刻器/灰化器。TEGAL 901 E以TEGAL经过验证的900系列体系结构为基础,结合了新材料、创新工程和最新技术,能够高产生产各种设备结构。901e设计为具有模块化体系结构,以便于维护和升级。蚀刻器/粉碎器设备采用最优质的材料制造,确保提高性能和耐用性。该系统采用了最新的蚀刻和清洗技术，包括多重真空室设计、改进的气体屏蔽和低压低温（LP/LT）蚀刻工艺。处理150 mm晶片的能力提高了901 E的效率,因为它可以减少晶片之间的清理并提高吞吐量。TEGAL 901e还方便地配备了集成的温度控制单元，允许整个蚀刻室保持一致的温度环境。这确保提高蚀刻均匀性和防止污染。该机器还配备了自动监控工具，使操作员能够跟踪其过程状态，并根据需要进行调整。TEGAL 901 E专为提供准确、高质量的设备蚀刻和清洁而设计。901e包括一系列流程优化工具,包括自动化流程调整、流程模拟和诊断功能,以进一步提高设备的准确性和质量。此外,该资产还拥有一套直观的用户友好软件,使操作和维护更加轻松。该软件可帮助操作员在干净、受控的环境中安排、监视和管理流程。它旨在确保最佳质量控制、灵活的流程调度和最小的停机时间。901 E是先进半导体器件生产中领先的蚀刻器/灰化器。它旨在提供快速、精确的蚀刻和清洁功能,并具有定制过程设置的灵活性,以及自动化监控模型的便利性。TEGAL 901e是各行业半导体生产的理想选择。