二手 TEGAL 901e #33637 待售

TEGAL 901e是一种先进的蚀刻和灰化设备,可为干蚀刻应用提供可靠的蚀刻性能。适合于广泛的材料，包括砷化氙（GaAs）、SiGaAs、SiGaSb和磷化​​二铵（InP）。该系统包括一个真空等离子体蚀刻室、一个高电流等离子体源和一个全自动的机械传输臂-全部集成到一个封装中。TEGAL 901 E的设计可提供超精密的蚀刻深度和均匀性,具有出色的掩模物理完整性,并采用气体平衡蚀刻工艺,确保蚀刻表面的垂直度优越。此外，该装置能够制造微米精度分界线，这对于制造光电器件是必不可少的。901e的真空室具有感应耦合等离子体源，大大缩短了加工时间，同时提供了较高的加工率和可靠的衬底效果。901 E配备了主动压力和温度控制机，可以让用户同时控制蚀刻等离子体和环境温度。它还具有等离子体监测仪，可用于精确测量蚀刻速率和温度。TEGAL 901e的机械传输臂提供全自动基板装卸，并具有集成的防撞工具和安全处理程序。该臂的基座符合行业标准的EPROM/EEPROM插座,该插座允许轻松、安全地装卸基板。此外，TEGAL 901 E支持多种工艺条件，包括蚀刻气体和压力设置，使其成为生产和研发应用的理想解决方桉。而且与多种流行的蚀刻工艺兼容，如反应性离子蚀刻（RIE）、深反应性离子蚀刻（DRIE）、等离子体增强蚀刻（PEE）、等离子体蚀刻（PE）。总而言之,901e是一种高性能的蚀刻和灰化资产,能够提供卓越的蚀刻和均匀性,以及出色的口罩物理完整性。它适用于许多干蚀刻应用，是生产和研发活动的宝贵工具。