二手 TEGAL 901e #70079 待售

TEGAL 901e 蚀刻器/asher是一种高度先进的机器人,能够以无与伦比的精度执行高精度、高容量的蚀刻和灰化过程。TEGAL 901 E是一种可定制的希金斯测速仪/asher,特别适用于半导体行业的各种先进应用。901e具有高度先进的化学传递系统,每次快速精确地提供精确的蚀刻和粉刷化学物质。这样可以确保每个基材蚀刻和灰化过程在定义的规范内快速准确地完成。901 E还具有自动定位晶片以提高吞吐量的高级级系统。此外，它能够精确控制任何蚀刻和灰化工艺的分辨率和定义，使用户能够充分利用其底物，从而确保最准确的工艺和结果。TEGAL 901e构建在一个完全集成的软件平台上，使其能够简单地集成到现有流程中，并且配备了强大的流程控制技术，允许复杂的蚀刻和ashing流程按照严格的规格定制。它还能够自动控制蚀刻和灰化工艺参数，以确保该工艺顺利进行。TEGAL 901 E最有益的特性之一就是它能以广泛的材料厚度进行蚀刻和灰化。这是通过一个独特的多级蚀刻选项来实现的，在该选项中，蚀刻可以在任何晶圆厚度上进行，从而使用户能够充分利用其基材。用户还可以访问各种高级流程选项和自定义工具,从而可以微调其蚀刻和灰化流程参数。901e还具有多种传感器,允许用户监视过程步骤、跟踪过程参数以及蚀刻和灰化过程的结果。总体而言，901 E 蚀刻器/asher是一种先进、功能强大、可靠的蚀刻和ashing机器人，非常适合各种半导体应用。其先进的化学和阶段系统、精确的工艺控制以及广泛的蚀刻和灰化选项使用户能够充分利用其底物和工艺。