二手 TEGAL 901e #70082 待售

TEGAL 901e是设计用于微电子学、医疗仪器制造、生命科学、纳米技术等广泛行业的先进蚀刻器/asher。它提供了广泛的特点，高通量和精确蚀刻，允许制造微型和纳米设备和电路。TEGAL 901 E以先进的电子束光刻技术为基础，提供精密、高通量。它可以实现超精细蚀刻,在各种基材和材料上创建复杂的图样和特征。该设备配有一个电动级和一个光学显微镜，用于基板的精确对准，以及一个用于基板定位和蚀刻深度的真空夹紧系统。这样一来,该设备甚至可以将微小的图桉刻蚀到纳米级.901e利用砷化的电子枪，可以在 到 的加速电压范围内产生范围广泛的束流。这允许创建细线宽度和制造现代微型和纳米设备所需的其他复杂特征。该单元还具有用于调整光束亮度和焦点以及对准和阵列的集成软件。它也与大多数标准的工艺室完全兼容，可以在各种各样的应用中使用。该机器配有一个12英寸晶片载波板，能够处理直径不超过8英寸的晶片。901 E还包括一系列确保人员和工具安全的安全保护机制，如互锁资产、卤素灯预警模型、E-Stop开关、多路复用开关以及具有安全功能的水冷电路。总体而言,TEGAL 901e是一款功能强大、用途广泛的蚀刻器/asher,非常适合现代微型和纳米设备制造应用。它易于处理,具有直观的软件界面、一系列安全功能以及用于复杂设备制造的精度和吞吐量功能。