二手 TEGAL 901e #70083 待售

TEGAL 901e是为现代微加工工艺设计的顶级等离子体蚀刻和asher设备。这种半自动系统具有新颖的设计,非常适合广泛的应用领域,使其成为研究人员、工程师和工业过程开发人员的理想选择。TEGAL 901 E比人工蚀刻和灰化技术具有许多优点,如快速的等离子体蚀刻速率、出色的工艺控制以及精确的比例线性蚀刻深度控制。901e的10 "x 8"大工作区，可实现高吞吐量和大基材尺寸的快速加工。其强大的射频发电机单元使用户能够精确控制传递的功率。广泛的蚀刻配方可以通过改变工艺参数来调整，如气流、压力、腔室温度等变量，允许微调参数设置和可重复、高精度的结果。独特的腔室设计量身定制，以最大限度地提高工艺效率，最大限度地减少污染，导致极低的颗粒数量和最佳的均匀性。901 E还提供高级蚀刻和灰化功能,如定向和各向异性蚀刻/灰化、高长宽比结构,以及改进了对不同材料的选择性。该机器设计用于精确控制蚀刻深度和宽度，使研究人员能够进行蚀刻实验、工艺表征和开发。TEGAL 901 e具有触摸屏操作功能,允许直观的用户控制,允许简单的配方创建、蚀刻率监控和过程分析。对于更复杂的应用，TEGAL 901 E配备了一套全面的板载数据系统，为用户提供详细的流程反馈。该工具的符合人体工程学的设计可方便清洁、日常维护和延长生产时间。总之，901e对于那些正在寻找可靠、高能力的等离子体蚀刻和粉刷资产的人来说是一个极好的选择。它以最高的精确度和对细节的关注来构造，以确保一致、可靠的性能。901 E具有出色的吞吐量、准确性和控制能力,是微加工工艺的理想选择。