二手 TEGAL 901e #9004063 待售

TEGAL 901e是一种批量型等离子体蚀刻/脱粒设备，设计用于维持高产产品的高速率生产吞吐量。它能够在低压和高压条件下运行，并为各种材料（包括金属、塑料和陶瓷）的蚀刻、稳定和/或脱胶提供各种工艺选择。TEGAL 901 E被认为是TEGAL的高级蚀刻器，它是蚀刻/脱墨系统的领先生产商。它按照国际质量标准制造，并利用高质量的部件。该系统由两个分庭组成；一个主动的和一个被动的。这种双腔室结构确保了最大的蚀刻效率，并消除了在较高腔室压力下可能产生的有害副产物。901e具有工业级电源以及主动和被动节能功能,可确保可靠和可重复运行。集成微处理器可以将压力保持在+/-0.5 Torr以内，并可控地调节等离子体源压力和偏压。惰性气体单元可以有效控制氧化。901 E是为了最大安全而设计的。它配备了压力传感器、腔室互锁开关、紧急停止开关和故障安全控制器，以便在必要时对危险过程进行监控和停止。此外，机器还通过内置接地工具和保护人员免受有害气体和颗粒污染的内室旁路过滤器，确保操作员的安全。内置的、易于使用的触摸屏控制台允许用户实时访问参数设置和监控蚀刻过程。直观的图形用户界面使用户能够轻松监控流程的关键方面并进行必要的调整。TEGAL 901e可以编程为自动操作过程，使操作和维护更加容易。TEGAL 901 E是一种高级蚀刻/拆卸资产,具有高生产率、可重复结果和可靠的安全特性。其先进的设计使其适合广泛的材料和工艺，直观的用户界面可以使操作变得简单方便。