二手 TEGAL 901e #9009940 待售

TEGAL 901e是一种蚀刻器/asher,旨在提供高水平的性能和灵活性,同时提供可靠、准确的蚀刻和研磨工艺。该蚀刻器可与III-V半导体材料、MEMS材料等兼容基板结合使用。TEGAL 901 E作为一种低压、等离子体辅助设备,在任何环境中都能提供卓越的处理能力,包括高真空、低压射频和低压氢氧环境。901e由坚固的100%不锈钢腔室构成,包括一个带有EHD加热器和传感器的安全外壳。这允许等离子体过程在广泛的温度和压力范围。蚀刻器具有石英窗口视口，允许现场观测。独立控制和加热的屏蔽可以消除主要蚀刻/灰分的污染和交叉污染。901 E可以在手动和全自动模式下使用。对于手动操作，用户可以独立、精确地控制蚀刻过程中的压力和射频功率。再者，蚀刻器具有四维顺序特征，允许用户设置一个蚀刻和灰化参数序列，并以最小的重置时间多次重复。此功能有助于最大程度地提高流程可重复性和生产率。综合诊断和控制系统允许用户显示过程参数，监控和控制多个处理参数，以及存储、召回和转移配方。该系统还提供高级数据日志记录以跟踪与流程相关的历史记录,因此用户可以有效地诊断流程问题。TEGAL 901e采用多种晶片处理方法设计，从手动晶片加载到盒式兼容晶片传输，再到隔离的负载锁定、负载室和卸载室。例如，锁载室允许对无颗粒蚀刻和灰化进行独立的大气压力控制。TEGAL 901 E结合了所有这些功能,为研究和生产应用程序的蚀刻和灰化过程提供了多功能性和卓越性能。它在生产高质量元件时具有高吞吐量、重复性和可靠性。